数据:
美国政府最近宣布与多个半导体行业巨头合作,投资100亿美元建立下一代半导体研发中心,以推动EUV光刻技术的发展。此外,美国初创公司xLight和Inversion Semiconductor正在开发替代的半导体光刻技术。
线索:
美国在EUV光刻领域的加强投资可能会带来全球半导体领域的重大变革,尤其是在技术自主权和创新方面。同时,传统EUV光刻技术面临的高耗电和高成本问题,催生了新兴公司在替代技术上的探索,可能带来投资的新机会和行业风险。
正文:
在先进芯片制造中,EUV光刻机是关键组成部分,ASML是市场上主要的光刻设备供应商。尽管美国在EUV光刻机方面未能制造出设备,但美国公司Cymer开发了EUV光刻机的关键组成部分光源。近年来,由于美国希望提升芯片制造能力,增加了对EUV光刻的投资。
美国最近宣布,CHIPS for America极紫外(EUV)加速器正式启用。2023年12月,纽约州与半导体行业领导者如IBM、美光等建立100亿美元的合作伙伴关系,建立下一代半导体研发中心。该公私合营将建设北美首个High NA EUV中心,以支持复杂半导体研发,并推动当地经济增长。
纽约州已经为此投资10亿美元,扩建了奥尔巴尼纳米技术中心,并购买了ASML的EXE:5200高数值孔径EUV扫描仪。EUV加速器将专注于高数值孔径EUV技术的开发,这种技术关键于实现7纳米及以下晶体管的量产。
此外,美国也在探索新的光刻技术替代品。xLight公司计划利用粒子加速器为光刻机产生光,预计在2028年实现,其光源将与现有工具兼容。另一家公司Inversion Semiconductor则希望使用“台式”粒子加速器生成高功率光,开发新型光源以提高晶体管密度和降低成本。这些替代技术的成功可能重塑半导体市场。
不仅美国在此领域活跃,其他国家如日本和欧洲也在寻找EUV光刻的新机遇。例如,挪威初创公司Lace Lithography AS研发一种使用原子来定义特征的光刻技术,超越现有EUV的分辨率。同时,日本的研究团队也在探索利用自由电子激光器提高EUV技术的效率。
总结来看,现代光刻机的发展过程经过了许多技术探索,而当前的各种解决方案或许仍在朝向更高效、成本更低的方向前进。虽然现阶段EUV光刻技术十分重要,但未来新技术的出现可能会进一步提升芯片性能。
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