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CGH 检测精度校验方法突破了轮廓检测法限制,精度达 λ/150,对国防和科研具有重要意义。

2024-06-17

要点:
1. 基于等效曲面的CGH检测精度校验方法精度优于λ/150
2. 超大口径高精度非球面光学反射镜制造技术水平对国防安全、国民经济建设、基础科研能力具有重要意义
3. CGH补偿干涉检测技术是检测超大口径非球面反射镜表面形状精度最高的唯一方法
4. 为突破轮廓检测法测量口径限制,该研究团队提出等效元件的CGH检具测量精度校验方法

利好:

利空:

标签:CGH、精度校验、轮廓检测法、λ/150、国防、科研

原文发布时间:2024-06-17T21:10:00

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